29 april 2009 - In het Belgische Leuven hebben ze een werkende geheugenchip gemaakt met details van 22 nanometer. De kleinste details op chips voor consumentenelektronica waren tot nu toe 45 nanometer. De Belgen gebruikten voor de superkleine chip een lithografiemachine van ASML uit Veldhoven, gebaseerd op extreem ultraviolet licht (EUV). De totale grootte van het geheugencircuit op de nieuwe chip van het Leuvense Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC) is slechts een honderdmiljoenste vierkante millimeter. IMEC gebruikte een in 2006 door ASML geleverde lithografiemachine die werkt met licht met een golflengte van 13,5 nanometer. Licht met deze golflengte wordt geabsorbeerd door vrijwel alle materie, waardoor het noodzakelijk is spiegels -in vacuüm- in plaats van lenzen te gebruiken. Bij het onderzoek naar deze nieuwe technologie zijn ook plasmafysici van de TU/e betrokken.